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SuperViewW1光學(xué)輪廓粗糙度儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

光學(xué)掃描式成像測量機(jī)輪廓儀，以光學(xué)成像測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，配合高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和花崗巖龍門式底座，實(shí)現(xiàn)了測量精度、速度、穩(wěn)定的**結(jié)合；結(jié)合高精度圖像分析算法，并融入閃測原理，在測量范圍內(nèi)，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動(dòng)定位測量對(duì)象、匹配模板、測量評(píng)價(jià)、報(bào)表生成，真正實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)測量。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SuperViewW1國產(chǎn)3d光學(xué)輪廓儀器是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。